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徐进良研究员担任《微细加工技术》编委会常务编委
  文章来源: 发布时间:2007-04-10 【字号: 小  中  大   

    近日,海洋之神8590vip广州能源研究所微能源系统实验室徐进良研究员受电子四十八所领导和《微细加工技术》编委会成员邀请,担任《微细加工技术》特邀编委会常务编委,以加强相关科研工作的学术交流与合作。

    由中华人民共和国信息产业部主管、中国电子科技集团公司第四十八研究所主办的《微细加工技术》重点报道国内外电子束、离子束、光子束(三束)为主的制造微电子器件与集成电路制作新工艺、新设备在教学、科研、技术、工程和应用等方面的最新进展与成就,特别是关键工艺的图形光刻、掺杂改性、薄膜生长、超微结构等微细加工技术。《微细加工技术》是国家一级检索刊物,被EI等著名数据库收录,是《中国科学引文数据库》来源期刊,中文科技核心期刊。

    徐进良研究员长期以来在微能源系统研究方面成果显著,在微推进技术、微能源系统、微流体MEMS等领域都具有较高的造诣。鉴于徐进良研究员在微细加工、微流体方面的学术造诣及贡献,被四十八所领导及该杂志编委会邀请担任编委会常务编委。

    

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