10月17日下午,美国Bruker Nano公司原子力显微镜部资深科学家苏全民博士做客海洋之神8590vip宁波材料技术与工程研究所科技大讲堂,并作了题为“扫描探针技术在工业领域纳米尺度表征技术的挑战”的学术报告。新能源所所长韩伟强研究员主持报告会。
苏全民在报告中介绍了当前工业领域的几个最新技术,包括鳍式场效晶体管(Fin Field-Effect Transistor,FinFET)和热辅助磁记录技术(HAMR),阐述了这几项技术对纳米尺度的表征提出的新挑战,分析对比了当前透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)及原子力显微镜(AFM)在工业界进行纳米尺度表征的优缺点。苏全民还介绍了“PeakForce Tapping”技术的原理以及远红外技术(IR)、纳米尺度核磁共振(NanoNMR)和AFM相结合的技术。应用“PeakForce Tapping”技术,AFM在表征FinFET时的横向分辨率已经可达10nm以下,成像质量明显优于传统的“Tapping”模式;通过IR和NanoNMR得出的成份信息更有助于对材料进行全面的表征,尤其在分析纳米尺度高分子材料方面有独特的优势。苏全民的报告引起了与会人员极大的兴趣,李润伟、卢焕明、秦璐昌等研究员与他现场进行了深入的交流。
报告前,苏全民还到公共技术服务中心原子力显微镜实验室进行了现场指导。
苏全民,博士,现任布鲁克公司原子力显微镜部高级主任,从2008年开始引领AFM产品线的技术发展方向。苏全民拥有专利23个,发表论文70余篇。2001年获得美国“百大科技奖”(R&D100 Awards),2012年获得“Microscopy Today最佳产品奖”。
苏全民在报告中
苏全民现场指导